-
Alumina Alt-Preciza Ceramikaj Ringaj Ceramikaj Partoj
Formitaj per malvarma izostatika premado kaj sinteritaj sub alta temperaturo, poste precize maŝinitaj kaj poluritaj, la ceramikaj rezervaj partoj povas plenumi ĉiujn striktajn postulojn de duonkonduktaĵaj ekipaĵoj pro siaj trajtoj de eluziĝrezisto, korodrezisto, malalta termika ekspansio kaj izolado. Ceramikoj povas funkcii en multaj specoj de duonkonduktaĵaj produktadekipaĵoj en kondiĉoj de alta temperaturo, vakuo aŭ koroda gaso dum longa tempo.
Farita el altpureca alumina pulvoro, prilaborita per malvarma izostatika premado, alttemperatura sinterizado kaj preciza finpoluro, ĝi povas atingi dimensiotoleremon ĝis ±0.001 mm, surfacan finpoluron Ra 0.1, temperaturreziston 1600℃.
-
ST.CERA Agorditaj Duonkonduktaĵaj Ekipaĵoj Ceramikaj Ĉukoj
Formitaj per malvarma izostatika premado kaj sinteritaj sub alta temperaturo, poste precize maŝinitaj kaj poluritaj, la ceramikaj rezervaj partoj povas plenumi ĉiujn striktajn postulojn de duonkonduktaĵaj ekipaĵoj pro siaj trajtoj de eluziĝrezisto, korodrezisto, malalta termika ekspansio kaj izolado. Ceramikoj povas funkcii en multaj specoj de duonkonduktaĵaj produktadekipaĵoj en kondiĉoj de alta temperaturo, vakuo aŭ koroda gaso dum longa tempo.
Farita el altpureca alumina pulvoro, prilaborita per malvarma izostatika premado, alttemperatura sinterizado kaj preciza finpoluro, ĝi povas atingi dimensiotoleremon ĝis ±0.001 mm, surfacan finpoluron Ra 0.1, temperaturreziston 1600℃.
-
Siliciokarbido (SiC) Ceramika Fina Efektoro - Alta Rigideco por Manipulado de Oblatoj en Alt-Temperaturo
La SiC-ceramika fina efektoro de St.Cera estas fabrikita el altpureca siliciokarbido (SiC-enhavo 99.72%, libera Si 0.05%) uzante la materialon S1111. Ĝi ofertas esceptajn mekanikajn ecojn: fleksoreziston 449 MPa (mezuritan), elastan modulon 457 GPa (mezuritan), kaj Vickers-malmolecon 25–28 GPa (tipan). La malalta denseco (3.10–3.15 g/cm³, tipa) provizas altan specifan rigidecon, idealan por altrapidaj robotoj por translokigo de vaflaj materialoj. Kun varmokonduktiveco de 120–150 W/m·K (tipa) kaj termika ekspansiokoeficiento de 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (tipa), ĉi tiu fina efektoro efike disipas varmon kaj konservas dimensian stabilecon dum manipulado je alta temperaturo (ĝis 1600–1700°C, sen ŝarĝo). La nigra/griza koloro kaj nula akvoabsorbo certigas kongruecon en puraj ĉambroj.
-
Vakua Ĉuko Bazita sur Siliciokarbido (SiC) por Alt-Temperaturaj kaj Plasmaj Medioj
La ceramika ĉuko de St.Cera, bazita sur SiC, estas fabrikita el altpureca siliciokarbido (aro S1111, SiC 99.72%, libera Si 0.05%). Ĝi liveras mezuritan fleksoreziston de 449 MPa, romporeziston de 3.12 MPa·m¹/², kaj elastan modulon de 457 GPa. La tipa varmokondukteco (120–150 W/m·K) kaj malalta varmovastiĝo (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) de la materialo ebligas rapidan temperaturŝanĝiĝon kaj minimuman misformiĝon de la obleto dum varmociklado. La ĉuko povas esti konfigurata kiel pora vakua ĉuko (unuforma gasfluo) aŭ kanelita norma ĉuko. Kun maksimuma uztemperaturo de 1600–1700°C (sen ŝarĝo) kaj escepta plasmo-eroziorezisto, ĉi tiu ĉuko estas ideala por alttemperatura obleto-prilaborado (kalcinado, RTP) kaj agresemaj gravuraj ĉambroj, kie alumino-teraj ĉukoj degradiĝas.
-
Duonkondukta Ekipaĵo Ceramikaj Rezervaj Partoj Ceramikaj Portiloj
Formitaj per malvarma izostatika premado kaj sinteritaj sub alta temperaturo, poste precize maŝinitaj kaj poluritaj, la ceramikaj rezervaj partoj povas plenumi ĉiujn striktajn postulojn de duonkonduktaĵaj ekipaĵoj pro siaj trajtoj de eluziĝrezisto, korodrezisto, malalta termika ekspansio kaj izolado. Ceramikoj povas funkcii en multaj specoj de duonkonduktaĵaj produktadekipaĵoj en kondiĉoj de alta temperaturo, vakuo aŭ koroda gaso dum longa tempo.
Farita el altpureca alumina pulvoro, prilaborita per malvarma izostatika premado, alttemperatura sinterizado kaj preciza finpoluro, ĝi povas atingi dimensiotoleremon ĝis ±0.001 mm, surfacan finpoluron Ra 0.1, temperaturreziston 1600℃.
-
Metal-Dorsita Alumina Ceramika Muelringo por Alt-Rigidecaj Lapaj Aplikoj
La metalbazita alumina muelila ringo de St.Cera kombinas altpurecan aluminan (99.8% Al₂O₃) ceramikan eluziĝtavolon kun precize maŝinprilaborita metala subteno (tipe aluminio aŭ rustorezista ŝtalo). Ĉi tiu hibrida dezajno provizas la esceptan eluziĝreziston kaj kemian inertecon de ceramiko sur la muelila surfaco, dum la metala bazo aldonas mekanikan forton, facilan muntadon kaj reziston al fragila frakturo. La alumina tavolo ofertas fleksan forton de 361 MPa, Vickers-malmolecon de 16 GPa kaj termikan stabilecon ĝis 800 °C. La metala bazo estas adaptita per muntaj truoj, lokigaj stiftoj aŭ magnetaj ecoj por integriĝo en lapmaŝinojn, planedajn muelmaŝinojn kaj CMP-ekipaĵon.
-
Ceramikaj Rezervaj Partoj por Ekipaĵo de Semikonduktaĵa Sondilo
Formitaj per malvarma izostatika premado kaj sinteritaj sub alta temperaturo, poste precize maŝinitaj kaj poluritaj, la ceramikaj rezervaj partoj povas plenumi ĉiujn striktajn postulojn de duonkonduktaĵaj ekipaĵoj pro siaj trajtoj de eluziĝrezisto, korodrezisto, malalta termika ekspansio kaj izolado. Ceramikoj povas funkcii en multaj specoj de duonkonduktaĵaj produktadekipaĵoj en kondiĉoj de alta temperaturo, vakuo aŭ koroda gaso dum longa tempo.
Farita el altpureca alumina pulvoro, prilaborita per malvarma izostatika premado, alttemperatura sinterizado kaj preciza finpoluro, ĝi povas atingi dimensiotoleremon ĝis ±0.001 mm, surfacan finpoluron Ra 0.1, temperaturreziston 1600℃.
-
Personigita Prilaborado de Al2O3 Ceramika Oblata Ĉuko
Formitaj per malvarma izostatika premado kaj sinteritaj sub alta temperaturo, poste precize maŝinitaj kaj poluritaj, la ceramikaj rezervaj partoj povas plenumi ĉiujn striktajn postulojn de duonkonduktaĵaj ekipaĵoj pro siaj trajtoj de eluziĝrezisto, korodrezisto, malalta termika ekspansio kaj izolado. Ceramikoj povas funkcii en multaj specoj de duonkonduktaĵaj produktadekipaĵoj en kondiĉoj de alta temperaturo, vakuo aŭ koroda gaso dum longa tempo.
Farita el altpureca alumina pulvoro, prilaborita per malvarma izostatika premado, alttemperatura sinterizado kaj preciza finpoluro, ĝi povas atingi dimensiotoleremon ĝis ±0.001 mm, surfacan finpoluron Ra 0.1, temperaturreziston 1600℃.
-
ST.CERA Personigita Duonkondukta Ekipaĵo Ceramika Plato
Formitaj per malvarma izostatika premado kaj sinteritaj sub alta temperaturo, poste precize maŝinitaj kaj poluritaj, la ceramikaj rezervaj partoj povas plenumi ĉiujn striktajn postulojn de duonkonduktaĵaj ekipaĵoj pro siaj trajtoj de eluziĝrezisto, korodrezisto, malalta termika ekspansio kaj izolado. Ceramikoj povas funkcii en multaj specoj de duonkonduktaĵaj produktadekipaĵoj en kondiĉoj de alta temperaturo, vakuo aŭ koroda gaso dum longa tempo.
Farita el altpureca alumina pulvoro, prilaborita per malvarma izostatika premado, alttemperatura sinterizado kaj preciza finpoluro, ĝi povas atingi dimensiotoleremon ĝis ±0.001 mm, surfacan finpoluron Ra 0.1, temperaturreziston 1600℃.
-
12-cola Alumina Vakua Ĉuko por 300mm Oblato-Prilaborado
La 12-cola vakua ĉuko de St.Cera estas precize fabrikita el 99.8% alt-pureca alumino (Al₂O₃) por manipulado de 300mm vaflajoj. La ĉuko havas fajne kanelitan surfacon (kanela larĝo 0.5–1.0 mm, paŝo 2–3 mm) por certigi unuforman vakuan distribuon tra la tuta 300mm diametro. Plateco estas konservata ene de 5 μm, ebligante senvarpan fiksadon de la vaflajoj dum hakado, malantaŭa muelado kaj inspektado. La alta fleksa forto (361 MPa) kaj malmoleco (16 GPa) de la materialo garantias longdaŭran dimensian stabilecon eĉ sub ripetaj vakuaj cikloj.
-
Alumina Ceramika Fina Efektilo kun Integraj Vakuaj Kanaloj
La fina efektoro el alumina aluminio de St.Cera integras precize maŝinprilaboritajn vakuajn kanalojn kaj suĉotruojn rekte en la 99.8% altpurecan aluminan korpon. Ĉi tiu dezajno forigas eksterajn vakuajn kusenetojn, ebligante rektan prenadon de la oblatoj kun unuforma tenforto. La alta fleksa forto (361 MPa) kaj malmoleco (16 GPa) de la materialo certigas longdaŭran dimensian stabilecon sub ripetaj vakuaj cikloj. Plateco trans la kuseneta areo estas konservata ene de 10 μm, malhelpante oblatan streĉon kaj rompiĝon. Vakuaj aperturoj situas ĉe la malantaŭa munta flanĝo por facila integriĝo kun originalaj robotbrakoj.
-
ESD-Sekuraj Aluminaj Ceramikaj Partoj por Statik-Sentema Manipulado de Oblatoj
La ESD-sekuraj (elektrostatika malŝarĝo) ceramikaj partoj de St.Cera el alumino-teraj aluminio-teraj partoj estas fabrikitaj el 99.8% alt-pureca Al₂O₃ kun adaptita surfaca rezisteco de 10⁶–10⁹ Ω/kv., atingita per proprieta dopada aŭ tega procezo. Ĉi tiuj partoj efike disipas statikan ŝargon, malhelpante elektrostatikan difekton al sentemaj duonkonduktaĵaj oblatoj kaj aparatoj. La bazmaterialo konservas sian altan fleksan forton (361 MPa), malmolecon (16 GPa) kaj dielektrikan forton (15×10⁶ V/m). ESD-sekuraj ceramikaj partoj inkluzivas finefektorojn, levajn stiftojn, gvidrelojn kaj adaptitajn fiksaĵojn por FAB-aŭtomatigo.
