Siliciokarbido (SiC) Ceramika Fina Efektoro - Alta Rigideco por Manipulado de Oblatoj en Alt-Temperaturo
La SiC-ceramika fina efektoro de St.Cera estas fabrikita el altpureca siliciokarbido (SiC-enhavo 99.72%, libera Si 0.05%) uzante la materialon S1111. Ĝi ofertas esceptajn mekanikajn ecojn: fleksoreziston 449 MPa (mezuritan), elastan modulon 457 GPa (mezuritan), kaj Vickers-malmolecon 25–28 GPa (tipan). La malalta denseco (3.10–3.15 g/cm³, tipa) provizas altan specifan rigidecon, idealan por altrapidaj robotoj por translokigo de vaflaj materialoj. Kun varmokondukteco de 120–150 W/m·K (tipa) kaj termika ekspansiokoeficiento de 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (tipa), ĉi tiu fina efektoro efike disipas varmon kaj konservas dimensian stabilecon dum manipulado je alta temperaturo (ĝis 1600–1700°C, sen ŝarĝo). La nigra/griza koloro kaj nula akvoabsorbo certigas kongruecon en puraj ĉambroj.
Specifoj(bazita sur la provizita SiC S1111-testraporto kaj tipaj valoroj)):
| Posedaĵo | Valoro |
| Materialo | SiC (99.72% SiC, 0.05% Libera Si) |
| Koloro | Nigra/Griza |
| Denseco | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Akvo-absorbo | 0% |
| Fleksforto | 449 MPa (averaĝe) |
| Fraktura Forteco | 3,12 MPa·m¹/² (averaĝe) |
| Elasta Modulo | 457 GPa |
| Vickers-malmoleco | 25–28 GPa |
| Termika Konduktiveco (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Maksimuma Uztemperaturo (sen ŝarĝo) | 1600–1700°C |
Aplikoj:
● Manipulado de oblatoj je alta temperaturo (post-kalcinado, RTP, epitaksio)
● Plasmo-gratadkameroj postulantaj altan erozioreziston
● Alt-rapidaj translokigaj robotoj (malpezaj, alta rigideco)
Fabrikado:
SiC-pulvora sinterizado → preciza CNC-ŝlifado de braka profilo kaj muntaj trajtoj → surfaca laponado → ultrasona purigado. 100%-a dimensia inspektado kaj heliuma lika testo por vakuaj aplikoj.
Kvalitkontrolo:
● CMM-inspektado de longo, larĝo kaj plateco
● Testo de fleksa forto por aro (laŭ normo de la testraporto)
● Vida inspektado sub mikroskopo por surfacaj difektoj
Avantaĝoj super Alumino aŭ Metalo:
● 2× pli alta elasta modulo (457 kontraŭ ~380 GPa por alumino-tero) - malpli da dekliniĝo
● 3× pli alta varmokondukteco - pli rapida varmodisradiado
● Eltenas >1600°C kompare kun 800°C de alumino-tero en aero
● Pli malalta denseco ol ŝtalo - 40%-a pezoredukto
Adaptiĝo:
Longoj 150–450 mm, pintformoj (randopremo, Bernoulli, plata), muntaj flanĝpadronoj laŭ OEM-desegnaĵo.
*Ĉiuj mekanikaj datumoj supre devenas de la liverita testraporto (aro S1111). Termikaj kaj malmolecvaloroj estas tipaj por ĉi tiu SiC-grado; bonvolu kontakti nin por lot-specifa atestado.*
