Vakua Ĉuko Bazita sur Siliciokarbido (SiC) por Alt-Temperaturaj kaj Plasmaj Medioj
La ceramika ĉuko de St.Cera, bazita sur SiC, estas fabrikita el altpureca siliciokarbido (aro S1111, SiC 99.72%, libera Si 0.05%). Ĝi liveras mezuritan fleksoreziston de 449 MPa, romporeziston de 3.12 MPa·m¹/², kaj elastan modulon de 457 GPa. La tipa varmokondukteco (120–150 W/m·K) kaj malalta varmovastiĝo (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) de la materialo ebligas rapidan temperaturŝanĝiĝon kaj minimuman misformiĝon de la obleto dum varmociklado. La ĉuko povas esti konfigurata kiel pora vakua ĉuko (unuforma gasfluo) aŭ kanelita norma ĉuko. Kun maksimuma uztemperaturo de 1600–1700°C (sen ŝarĝo) kaj escepta plasmo-eroziorezisto, ĉi tiu ĉuko estas ideala por alttemperatura obleto-prilaborado (kalcinado, RTP) kaj agresemaj gravuraj ĉambroj, kie alumino-teraj ĉukoj degradiĝas.
Specifoj(bazita sur la provizita SiC S1111-testraporto kaj tipaj valoroj)):
| Posedaĵo | Valoro |
| Materialo | SiC (99.72% SiC, 0.05% Libera Si) |
| Denseco | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Akvo-absorbo | 0% |
| Fleksforto | 449 MPa |
| Fraktura Forteco | 3,12 MPa·m¹/² |
| Elasta Modulo | 457 GPa |
| Vickers-malmoleco | 25–28 GPa |
| Termika Konduktiveco | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Maksimuma Uztemperaturo (sen ŝarĝo) | 1600–1700°C |
| Plateco (super 300mm) | ≤5 μm |
| Surfaca Finpoluro | Ra ≤0.4 μm (plaŭdita) |
Aplikoj:
● Alt-temperatura ĵetado (kalcinado, RTP, epitaksa kresko)
● Plasmogravura ĉuko kun alta fluorrezisto
● Manipulado de maldikaj obletoj kun unuforma hejtado/malvarmigo
● Pora ĉuko por nekontakta subteno de oblatoj
Fabrikado:
SiC-sintrado → preciza muelado de plateco kaj surfaca profilo → laŭvola formado de pora strukturo (por vakua ĉuko) → laponado → ultrasona purigado. Ĉiu ĉuko estas 100% inspektita por plateco (lasera interferometro) kaj vakua homogeneco (fluotesto).
Kvalitkontrolo:
● CMM dimensia kontrolo (diametro, dikeco, truopozicioj)
● Mezurado de plateco laŭ ASTM
● Helium-lika testo (por vakuaj ĉukoj)
● Kontrolo de fleksa forto por aro (referencu al testraporto)
Avantaĝoj super Aluminaj Ĉukoj:
● Pli alta varmokondukteco (120–150 kontraŭ 32 W/m·K por alumino-tero) – 4× pli rapida varmotransigo
● Pli malalta CTE (4.0 kontraŭ 7.2×10⁻⁶/℃) – reduktas termikan streson de la oblato
● Supera plasmorezisto - 10× pli longa vivdaŭro en fluora gravurado
● Pli alta maksimuma uztemperaturo (1600°C kontraŭ 800°C por alumino-tero)
Adaptiĝo:
● Pora aŭ kanelita surfaco
● Diametro 100–450 mm, ronda aŭ kvadrata
● Randa sigela ringo aŭ zonaj vakuaj dispartigoj
● Metala subtena opcio por alt-rigida muntado
Ĉiuj mekanikaj datumoj supre devenas de la liverita testraporto (aro S1111). Termikaj kaj malmolecvaloroj estas tipaj por ĉi tiu SiC-grado. Poraj SiC-ŝraŭboj postulas plian prilaboradon; bonvolu demandi pri specifa havebleco de poreco kaj porgrandeco.
