Teflon-kovrita ceramika fina efektilo - negluema surfaco por sentema manipulado de obletoj
La Teflon- (PTFE) kovrita ceramika fina efektoro de St.Cera kombinas alt-fortan alumino-teran substraton kun unuforma, malalt-frikcia PTFE-tegaĵo (dikeco 15–30 μm). La tegaĵo provizas ekstreme malaltan frikcian koeficienton (≤0.1), bonegan kemian reziston kaj ne-gluecajn ecojn, malhelpante adheron de la oblatoj kaj eliminante poluadon de la malantaŭa flanko. La subesta ceramika substrato (99.8% Al₂O₃) ofertas altan fleksan forton (361–1000 MPa), eluziĝreziston kaj termikan stabilecon ĝis 260°C (tegaĵa limo). Ĉi tiu fina efektoro estas ideala por manipulado delikataj, maldikaj aŭ gluecaj oblatoj (ekz., post fotorezista tegaĵo aŭ kemiaj procezoj).
Specifoj (bazite sur 99.8% Al₂O₃ substrato kun PTFE-tegaĵo):
| Posedaĵo | Valoro |
| Substrata Materialo | 99.8% Alumino (Eburo) |
| Kovra Materialo | PTFE (Teflono) |
| Tegaĵa Dikeco | 15–30 μm |
| Koeficiento de Frikcio (Tegita) | ≤0.1 |
| Substrata Fleksa Forto (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Substrata Malmoleco (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Substrata Denseco | 3,93 g/cm³ |
| Maksimuma Funkciiga Temperaturo (tegaĵa limo) | 260°C |
| Surfaca Malglateco (antaŭ tegaĵo) | Ra ≤0.4 μm |
| Dielektra Forto (substrato) | 15×10⁶ V/m |
Noto: PTFE-tegaĵo limigas la maksimuman temperaturon al 260 °C; por aplikoj kun pli alta temperaturo, konsideru netegitajn ceramikajn aŭ aliajn tegaĵojn.
Aplikoj:
- · Manipulado de oblatoj post fotorezista tegaĵo (gluecaj surfacoj)
- · Translokigo de maldikaj aŭ rompiĝemaj oblatoj (malhelpas algluiĝon)
- · Iloj por inspektado de duonkonduktaĵoj kaj metrologio
- · Aŭtomatigo de pura ĉambro kie partikla poluado devas esti minimumigita
Fabrikada Procezo:
Ceramika substrato sinterita kaj precize muelita → surfaca malglatigo (plasma gravurado aŭ sabloblovado) → PTFE-ŝpruca tegaĵo → varmohardado je 380 °C → fina inspektado. Ĉiu fina efektoro estas kontrolita pri tegaĵa dikeco (kirlofluo), adhero (transversa tranĉa testo ASTM D3359), kaj frikcia koeficiento.
Kvalitkontrolo:
100%-a vida inspektado por pinglotruoj aŭ vezikoj; homogeneco de la tegaĵa dikeco ene de ±5 μm; neniu delaminado post 90°-kurbtesto sur atestanta kupono. Dimensia kontrolo laŭ OEM-toleremo (longo ±0,05 mm, plateco ≤0,1 mm).
Avantaĝoj super Nekovritaj aŭ Aliaj Tegaĵoj:
- · Nealgluiĝanta surfaco malhelpas adheron kaj rompiĝon de la oblatoj
- · Plej malalta koeficiento de frotado inter ceramikaj tegaĵoj
- · Bonega kemia rezisto (acidoj, bazoj, solviloj)
- · Reduktas partiklan generadon malhelpante materialan translokigon
Limigoj (rimarkoj pri materiala devio):
La PTFE-tegaĵo ne devenas de la provizitaj tabeloj de materialaj ecoj (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). La substrataj ecoj strikte sekvas la provizitan datenfolion (99.8% Al₂O₃). La tegaĵaj ecoj baziĝas sur industri-normaj PTFE-specifoj, ĉar neniuj tegaĵaj datumoj estis provizitaj. Por aplikoj superantaj 260°C, netegita ceramika fina efektoro estas rekomendinda.*
Adaptiĝo:
Havebla en longoj 150–1500 mm, pintformoj (randa tenilo, Bernoulli, plata), muntaj flanĝaj ŝablonoj laŭ OEM-desegnaĵo. Parta tegaĵo (nur kontaktaj areoj) aŭ plena kovro laŭvola.
Petu specimenon por adhero- kaj frototestado.
