12-cola Alumina Vakua Ĉuko por 300mm Oblato-Prilaborado
La 12-cola vakua ĉuko de St.Cera estas precize fabrikita el 99.8% alt-pureca alumino (Al₂O₃) por manipulado de 300mm vaflajoj. La ĉuko havas fajne kanelitan surfacon (kanela larĝo 0.5–1.0 mm, paŝo 2–3 mm) por certigi unuforman vakuan distribuon tra la tuta 300mm diametro. Plateco estas konservata ene de 5 μm, ebligante senvarpan fiksadon de la vaflajoj dum hakado, malantaŭa muelado kaj inspektado. La alta fleksa forto (361 MPa) kaj malmoleco (16 GPa) de la materialo garantias longdaŭran dimensian stabilecon eĉ sub ripetaj vakuaj cikloj.
Specifoj (bazita sur 99,8% Al₂O₃):
| Posedaĵo | Valoro |
| Diametro | 300 mm (12 coloj) |
| Materialo | 99.8% Alumino (Eburo) |
| Denseco | 3,93 g/cm³ |
| Fleksforto | 361 MPa |
| Vickers-malmoleco | 16 GPa |
| Plateco (super 300mm) | ≤5 μm |
| Larĝo de la kanelo | 0,5–1,0 mm |
| Maksimuma Funkciiga Temperaturo | 800°C |
| Dielektra Forto | 15×10⁶ V/m |
Aplikoj:
300mm oblato-kubado kaj skribado
Muelado de malantaŭa flanko de oblato (maldika oblato-subteno)
Optika inspektado kaj sondado
Provizoraj ligado/malligigado ĉukoj
Fabrikado:
CNC-muelita kaj lapinta ĝis fina plateco, kanelita per diamantaj radoj, ultrasone purigita, kaj pakita en pura ĉambro de Klaso 100. Ĉiu ĉuko estas 100% inspektita por plateco (lasera interferometro) kaj kanelprofundo (profilometro).
Avantaĝoj:
Malalta partikla generado (≤0.05 partikloj/cm²)
Kemie inerta al solviloj kaj acidoj
ESD-sekura surfaco (rezistiveco >10¹³ Ω·cm)
Haveblaj specialaj vakuaj truoŝablonoj kaj malantaŭaj havenoj.
