-
Altpureca Alumina Ceramika Robota Brako por Manipulado de Oblatetoj
La robota brako el alumino-tero-ceramikaĵo de St.Cera estas precize fabrikita el 99.8% altpureca Al₂O₃ (alumino-tero). Ĝi kombinas esceptan fleksoreziston (361 MPa), altan malmolecon (16 GPa), kaj malaltan densecon (3.93 g/cm³), rezultante en malpeza sed rigida brako por translokigo de duonkonduktaĵaj oblatoj. La termika ekspansiokoeficiento de la materialo (7.2×10⁻⁶/°C) proksime kongruas kun silicio, minimumigante termikan misagordon dum prilaborado.
-
Bernoulli Ceramika Fina Efektoro — Senkontakta Manipulado de Oblatetoj por Maldikaj kaj Delikataj Oblatetoj
La ceramika fina efektoro Bernoulli de St.Cera uzas aerdinamikan levforton por manipuli oblatojn sen fizika kontakto. Fabrikita el altpureca 99.8% alumino (Al₂O₃) aŭ siliciokarbido (SiC), ĝi havas precize maŝinprilaboritajn ajutojn, kiuj elĵetas premizitan gason por krei maldikan aerfilmon inter la fina efektoro kaj la oblato. Ĉi tiu ne-kontakta principo eliminas poluadon de la malantaŭa flanko, randosplitiĝon kaj surfacdifekton, igante ĝin ideala por maldikaj (≤100 μm), delikataj aŭ misformitaj oblatoj. La ceramika substrato provizas altan fleksoreziston (361 MPa por Al₂O₃; ĝis 550–600 MPa por SiC), malaltan mason kaj bonegan dimensian stabilecon, certigante ripeteblan poziciigon en altrapidaj oblataj translokigaj robotoj.
-
Teflon-kovrita ceramika fina efektilo - negluema surfaco por sentema manipulado de obletoj
La Teflon- (PTFE) kovrita ceramika fina efektoro de St.Cera kombinas alt-fortan alumino-teran substraton kun unuforma, malalt-frikcia PTFE-tegaĵo (dikeco 15–30 μm). La tegaĵo provizas ekstreme malaltan frikcian koeficienton (≤0.1), bonegan kemian reziston kaj ne-gluecajn ecojn, malhelpante adheron de la oblatoj kaj eliminante poluadon de la malantaŭa flanko. La subesta ceramika substrato (99.8% Al₂O₃) ofertas altan fleksan forton (361–1000 MPa), eluziĝreziston kaj termikan stabilecon ĝis 260°C (tegaĵa limo). Ĉi tiu fina efektoro estas ideala por manipulado delikataj, maldikaj aŭ gluecaj oblatoj (ekz., post fotorezista tegaĵo aŭ kemiaj procezoj).
