Metal-Dorsita Pora SiC Vakua Ĉuko por Misformaj kaj Maldikaj Oblatoj-Manipulado
La metalbazita ceramika vakua ĉuko de St.Cera kombinas poran ceramikan tavolon el silicia karbido (SiC) kun precize maŝinprilaborita metala bazo (aluminio aŭ rustorezista ŝtalo). La pora SiC-materialo (blunigra, poreco 35–40%, porgrandeco 20–30 μm, permeablo 60 ml/cm²·min) provizas unuforman, mildan vakuan distribuon tra la tuta surfaco de la silicia karbido, eliminante randmarkadon kaj ebligante nekontaktan subtenon por maldikaj (≤100 μm) aŭ misformitaj siliciaj ...
Specifoj (bazitaj sur provizitaj poraj SiC-datumoj):
| Posedaĵo | Valoro |
| Ceramika Materialo | Pora Silicia Karbido (SiC ≥80%) |
| Koloro | Blunigra |
| Poreco | 35–40% |
| Pora Grandeco | 20–30 μm |
| Denseco | 2,1–2,3 g/cm³ |
| Permeablo | 60 ml/cm²·min |
| Fleksforto | 32–35 MPa |
| Termika Ekspansia Koeficiento (25-1000°C) | 3,5×10⁻⁶/℃ |
| Maksimuma Funkciiga Temperaturo | 1000°C |
| Elektra rezisto | 10⁻¹⁰ Ω/cm (laŭ liveritaj datumoj, tipaj por pora SiC) |
| Metala Baza Materialo | Aluminio 6061 aŭ Neoksidebla ŝtalo 304 (laŭvole) |
| Dikeco de la metala bazo | 10–30 mm (laŭmenda) |
Noto: Fleksforto estas pli malalta ol tiu de densa SiC pro poreco. La ecoj de la metala bazo ne devenas de ceramikaj tabeloj.
Aplikoj:
- · Malantaŭa muelado de maldikaj oblatoj (≤100 μm)
- · Muntado de misformaj oblatoj por hakado
- · Alt-temperatura ŝutado de oblatoj (ĝis 1000°C)
- · Vakua fiksado por poraj aŭ delikataj substratoj
Fabrikado:
Pora SiC-plato (formita per porformiloj, sinterita) → lapinta ĝis plateco ≤10 μm → metala bazo maŝinprilaborita kun vakuaj aperturoj kaj muntaj trajtoj → epoksi-ligado aŭ mekanika fiksado → heliuma lika testo.
Kvalitkontrolo:
- · Poreco kaj porgrandeco kontrolitaj per SEM
- · Permeablotesto (aerfluo)
- · Plateco mezurita per lasera interferometro
- · Heliuma lika rapideco <1×10⁻⁹ Pa·m³/s
Avantaĝoj super kanelitaj aŭ densaj ceramikaj ĉukoj:
- · Neniu markado de obletoj - unuforma vakuo sen apartaj truoj
- · Mem-purigaj poroj - reduktita ŝtopiĝo
- · Pritraktas misformajn oblatojn (ĝis 500 μm kurbiĝo)
- · Metala bazo malhelpas fragilan fendon kaj simpligas integriĝon
Limigoj:
- · Pli malalta fleksa forto (32–35 MPa) – evitu frapŝarĝon
- · Funkciiga temperaturo limigita al 1000 °C (pora SiC), sed metalbaza epoksio-ligo limiĝas al ≤200 °C krom se meĥanike fiksita
- · Ne por altprema vakuo (pora strukturo limigas la maksimuman vakuan diferencon)
Adaptiĝo:
- · Metala bazo: aluminio (malpeza), rustorezista ŝtalo (korodorezista), Invar (malalta ekspansio)
- · Kungluado: epoksio (≤200°C) aŭ mekanika krampo (ĝis 500°C)
- · Randa sigela ringo por zona vakuoreguligo
Bonvolu noti: La provizita fleksa forto (32–35 MPa) estas signife pli malalta ol tiu de densaj ceramikaĵoj pro poreco. Manipulu zorge por eviti randosplitiĝon.
