Ceramika Subtena Stifto por Duonkonduktaĵaj Procezaj Fiksaĵoj
La ceramikaj subtenaj stiftoj de St.Cera (ankaŭ konataj kiel levaj stiftoj aŭ subtenaj stiftoj) estas uzataj en duonkonduktaĵaj procezĉambroj por levi oblatojn aŭ substratojn dum manipulado, varmigo aŭ malvarmigo. Fabrikitaj el 99.8% alumino-tero aŭ silicia nitrido, ĉi tiuj stiftoj ofertas altan kunpreman forton, termikan stabilecon kaj kemian reziston. La duongloba aŭ plata pinto-dezajno malhelpas skrapadon de la oblatoj.
Specifoj(Alumino 99.8%):
| Posedaĵo | Valoro |
| Materialo | 99.8% Al₂O₃ aŭ Si₃N₄ |
| Longo | 10 – 100 milimetroj |
| Diametro | 1 – 10 milimetroj |
| Pinta Formo | Plata, duongloba, pinta |
| Kunprema Forto (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maksimuma Funkciiga Temperaturo (Al₂O₃) | 1600°C |
| Surfaca Finpoluro | Lapita (Ra ≤0.4 μm) |
| Toleremo pri Diametro | ±0,01 mm |
Aplikoj:
Levu stiftojn en CVD/PVD-ĉambroj
Subtenaj stiftoj por bakado per varma plato
Subtenaj strukturoj por sondaj kartoj
Kvarcaj fornaj boatsubteniloj
Fabrikado:
Preciza sensentra frotado de ekstera diametro → diamanta frotado de pintoprofilo → ultrasona purigado → 100%-dimensia inspektado.
Kvalitkontrolo:
CMM por longo/diametro, optika komparilo por pinto-radiuso, ŝarĝo-testado por kontroli kunpreman forton (hazarda specimeno por loto). Neniu feromagneta poluado (konfirmite per magneto).
Avantaĝoj super Metalaj aŭ Kvarcaj Stiftoj:
5-oble pli longa vivdaŭro ol neoksidebla ŝtalo
Neniu metala poluado en la proceza ĉambro
Pli alta temperaturkapablo ol kvarco (1600°C kontraŭ 1100°C)
Ne-glueca surfaco (reduktita partikla adhero)
Adaptiĝo:
Multoblaj pintoprofiloj, surfadenigita bazo, aŭ konusforma ŝafto.
Ni ankaŭ provizas SiC-pinglojn por ekstremaj plasmaj medioj.
