Alumina vakua ĉuko por preciza hakado kaj muelado
La vakua ĉuko el alumina teraluminio de St.Cera estas fabrikita el 99.8% altpureca Al₂O₃ kun precize maŝinitaj vakuaj kaneloj. Nia preciza muelada kapablo atingas platecon de 0.003mm kaj paralelecon de 0.002mm, certigante senvardan fiksadon de la obleo dum hakado, malantaŭa muelado kaj inspektado. La materialo ofertas altan fleksoreziston (361 MPa), malmolecon (16 GPa) kaj termikan stabilecon ĝis 800°C. Havebla en rondaj formatoj ĝis 600mm ekstera diametro (OD) kaj rektangulaj formoj ĝis 1500mm longo. La vakuaj kaneloj estas speciale dizajnitaj (samcentraj, radialaj aŭ kradaj padronoj) por konveni al specifaj procezaj postuloj. Ĉiu ĉuko estas inspektata per lasera interferometro kaj provizita kun raporto pri plateca konfirmo.
Specifoj (bazitaj sur 99.8% Al)₂O₃& St.Cera produktadkapabloj):
| Posedaĵo | Valoro |
| Materialo | 99.8% Alumino (Eburo) |
| Denseco | 3,93 g/cm³ |
| Fleksforto | 361 MPa |
| Vickers-malmoleco | 16 GPa |
| Ekstera Diametro (maks) | 600mm |
| Dikeco (maksimumo) | 100mm |
| Longo (maksimumo) | 1500mm |
| Plateco | 0,003mm |
| Paraleleco | 0,002mm |
| Surfaca Finpoluro | Ra0.1 |
| Maksimuma Funkciiga Temperaturo | 800°C |
Aplikoj:
- · Kubtranĉado kaj skribado de obleoj (200mm/300mm kaj pli grandaj)
- · Malantaŭa muelado de maldikaj oblatoj
- · Optika inspektado kaj sondado
- · Manipulado de grandaj substratoj
Fabrikada Precizeco:
- · Rekteco: 0,005 mm
- · Perpendikulareco: 0,005 mm
- · Rondeco: 0,002mm
- · Koncentreco: 0,01 mm
