Alumina PVD-Izolaĵa Ringo por Fizikaj Vaporaj Depoziciaj Sistemoj
La PVD-izolaĵringo de St.Cera estas fabrikita el 99.8% altpureca alumino (Al₂O₃) por uzo en fizikaj vaporaj deponaj (PVD) sistemoj. La ringo provizas elektran izoladon inter la komponentoj de la ĉambro, malhelpante arkadon kaj certigante stabilan plasmofunkciadon. Ŝlosilaj ecoj inkluzivas altan dielektrikan forton (15×10⁶ V/m), specifan reziston >10¹⁴ Ω·mm²/m, kaj termikan stabilecon ĝis 1600°C. Niaj precizaj maŝinadkapabloj atingas eksterajn diametrojn ĝis 600mm, internajn diametrojn ĝis 0.2mm, platecon de 0.003mm, kaj surfacan finpoluron Ra0.1. La nula poreco kaj kemia inerteco de la ringo certigas longdaŭran fidindecon en agresemaj ŝprutadaj medioj.
Specifoj (bazitaj sur 99.8% Al)₂O₃& St.Cera produktadkapabloj):
| Posedaĵo | Valoro |
| Materialo | 99.8% Alumino (Eburo) |
| Denseco | 3,93 g/cm³ |
| Fleksforto | 361 MPa |
| Vickers-malmoleco | 16 GPa |
| Dielektra Forto | 15×10⁶ V/m |
| Specifa Rezisto | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maksimuma Ekstera Diametro | 600mm |
| Minimuma Interna Diametro | 0.2mm |
| Maksimuma Dikeco | 100mm |
| Plateco | 0,003mm |
| Paraleleco | 0,002mm |
| Surfaca Finpoluro | Ra0.1 |
| Maksimuma Funkciiga Temperaturo | 1600°C |
Aplikoj:
- · Celaj subtenplataj izoliloj en PVD-sistemoj
- · Ĉambraj traizoliloj
- Ŝirmringaj izoliloj en ŝprucsistemoj
- · Altatensia izolado en plasmokameroj
Fabrikada Precizeco:
Koncentreco: 0,01 mm, rondeco: 0,002 mm, rekteco: 0,005 mm, perpendikulareco: 0,005 mm, kontrolita per CMM.
Aavantaĝoj super polimeraj izoliloj:
- · Eltenas 1600°C kompare kun la limo de polimeroj <300°C
- · Neniu elgasigo - konservas vakuan integrecon
- · Rezistas plasmo-erozion kaj kemian atakon
Adaptiĝo:
Haveblaj laŭmendaj sekcoj, muntaj trajtoj, ŝtupaj profiloj kaj pluraj samcentraj ringodezajnoj.
